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原子力顯微鏡(平板掃描式)WY- LSCL-AFM

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◆性能特點:
實現(xiàn)探針和樣品組合式移動掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡。
采用三軸獨立閉環(huán)壓電平移式掃描臺,實現(xiàn)大范圍高精度掃描。
三軸獨立式掃描,XYZ互不影響,非常適合三維材料及形貌檢測。
電動控制樣品移動臺和升降臺,可任意編程多點位置實現(xiàn)快速自動化檢測。
龍門架式掃描頭設(shè)計,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式載物臺。
馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品。
高倍輔助光學顯微定位,實時觀測與定位探針以及樣品掃描區(qū)域。
閉環(huán)壓電掃描臺無需非線性校正,納米表征和測量精度優(yōu)于99.5%。

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◆性能特點:
實現(xiàn)探針和樣品組合式移動掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡。

采用三軸獨立閉環(huán)壓電平移式掃描臺,實現(xiàn)大范圍高精度掃描。

三軸獨立式掃描,XYZ互不影響,非常適合三維材料及形貌檢測。

電動控制樣品移動臺和升降臺,可任意編程多點位置實現(xiàn)快速自動化檢測。

龍門架式掃描頭設(shè)計,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式載物臺。

馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品。

高倍輔助光學顯微定位,實時觀測與定位探針以及樣品掃描區(qū)域。

閉環(huán)壓電掃描臺無需非線性校正,納米表征和測量精度優(yōu)于99.5%。


 ◆測量范圍及應(yīng)用:

測量范圍:二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。

應(yīng)用:納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。



◆ 應(yīng)用案例 Application Case

微信圖片_20220424160112.png


序號

名稱

技術(shù)參數(shù)

01

工作模式

接觸模式、輕敲模式

02

選配模式

摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力

03

力譜曲線

F-Z力曲線、RMS-Z曲線

04

XY掃描方式

樣品驅(qū)動式掃描,閉環(huán)壓電平移式掃描臺

05

Z掃描方式

探針驅(qū)動式掃描

06

XY掃描范圍

閉環(huán)100×100um

07

Z掃描范圍

10um

08

掃描分辨率

閉環(huán)XY0.5nm,Z0.05nm

09

XY樣品臺

步進電機驅(qū)動控制,移動精度1um

10

XY移動行程

100×100mm(可選200×200mm,300×300mm

11

樣品載物臺

直徑100mm(可選200mm300mm

12

樣品重量

0.5Kg

13

Z升降臺

步進電機驅(qū)動控制,很小步長10nm

14

Z升降行程

15mm(可選20mm,25mm

15

光學定位

10X光學物鏡

16

攝像頭

500萬像素數(shù)字CMOS

17

掃描速率

0.6Hz~30Hz

18

掃描角度

0~360°

19

運行環(huán)境

Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)

20

通信接口

USB2.0/3.0

21

儀器結(jié)構(gòu)

龍門架式掃描頭,大理石底座

22

減震方式

氣浮式減震臺+金屬屏蔽隔音箱(可選主動式減震臺)



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